Sur une ligne de 300 mm, vous pouvez voir le rendement diminuer avec une dérive de 0,5°C lors du recuit du photoresist. Le contrôle de la largeur des...

Sur le plancher de production, un seul incident lors du séchage doux peut compromettre un quart de travail entier en lithographie. Si la lampe de...

Sur l’étage lithographie, le chronomètre démarre dès que la plaquette atteint la température. Le soft bake et le hard bake ne sont pas de simples «...