Out on the fab floor, you learn to treat temperature drift in photoresist processing like an old enemy. A soft bake at 90°C with ±3°C across the...

על הקו על רצפת הייצור, סטייה של 0.3°C בתהליך האפייה של הפוטורסיסט יכולה להוביל לסטייה ברוחב הקו שתשמיד קבוצת ייצור שלמה. בייצור צלחות בתפוקה גבוהה,...