Pada jalur produksi berukuran 300 mm, kita tahu betul bahwa sedikit saja perubahan suhu sebesar 1°C selama proses pemanasan fotoresist dapat membuat dimensi-komponen penting dalam proses produksi menjadi tidak sesuai spesifikasi yang ditetapkan. Untuk menghindari hal ini, kami membangun sistem lampu inframerah berbahan karbon fiber. Sistem ini menggantikan sumber cahaya berbasis halogen dan kuarsa dengan emitor karbon fiber yang dirancang untuk menghasilkan cahaya inframerah. Dengan demikian, panas yang dihasilkan lebih merata, tanpa adanya titik-titik panas yang berlebihan.
Keseragaman suhu pada permukaan wafer mencapai ±0,1°C, dan tingkat repetibilitasnya tetap stabil meskipun proses dilakukan ribuan kali. Waktu responsnya sangat singkat, sehingga memungkinkan pengendalian yang tepat terhadap proses pemanasan. Lampu ini juga bekerja dengan baik dalam lingkungan kelas 1–100, tanpa adanya partikel debu, dan memenuhi persyaratan minimisasi emisi gas yang diperlukan dalam proses litografi canggih. Konsumsi energinya lebih rendah sekitar 30% dibandingkan lampu berbasis halogen. Emitor ini mampu beroperasi selama lebih dari 5.000 jam dengan efisiensi lebih dari 95%.
Apa manfaatnya bagi proses produksi? Kontrol terhadap dimensi komponen menjadi lebih baik, jumlah produk yang harus dikerjakan ulang berkurang, dan tingkat keberhasilan proses produksi tetap stabil seiring semakin kecilnya ukuran node pada chip. Anda dapat menggunakan lapisan fotoresist yang lebih tipis tanpa khawatir, menjaga konsistensi perilaku transisi termal pada seluruh permukaan wafer, serta mencegah fluktuasi suhu antar alat pemrosesan. Lampu ini dapat digunakan dalam proses coating/pemanasan yang sudah ada, dengan menggunakan antarmuka dan prosedur kalibrasi standar, sehingga tidak perlu mengulangi proses penyesuaian lagi.
Pada saat pemasangan, yang perlu diperhatikan adalah beban termal dan geometri posisi lampu. Elemen karbon fiber tidak tahan terhadap tekanan mekanis, jadi posisi pemasangannya harus diatur sedemikian rupa agar tidak ada tekanan berlebihan pada elemen tersebut. Lakukan uji coba singkat untuk menentukan koefisien emisivitas lampu di setiap area, lalu sesuaikan parameter PID agar sesuai dengan kondisi proses produksi. Setelah itu, lampu akan memberikan stabilitas yang dibutuhkan oleh proses produksi, hari demi hari.