Di area pemanasan tersebut, sedikit saja perubahan suhu sebesar setengah derajat pun dapat mengacaukan dimensi-dimensi penting produk, sehingga menyebabkan pemborosan bahan baku. Kami merancang regulator daya SCR khusus untuk lampu tersebut, agar perubahan suhu dapat dikendalikan dari sumbernya. Dengan demikian, output lampu akan sesuai dengan spesifikasi yang ditentukan, bukan dipengaruhi oleh tegangan saluran listrik.
Yang penting secara teknis: Ini merupakan kontroler jenis loop tertutup yang digabungkan dengan driver lampu yang cocok untuk berbagai jenis sumber cahaya, seperti halogen, kuarsa, gelombang pendek, gelombang menengah, dan sumber cahaya berbasis serat karbon. Tingkat keseragaman suhu di permukaan wafer mencapai ±0,1°C, dan tingkat repetitivitas antar proses produksi tetap berada dalam kisaran ±0,2°C. Output lampu tetap stabil pada 0,1% dari nilai yang ditentukan, dengan waktu respons kurang dari 10 ms terhadap perubahan nilai setpoint atau fluktuasi tegangan. Alat ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100; tidak ada partikel yang dihasilkan dari sistem termalnya, dan tata letaknya dirancang sedemikian rupa agar tidak mengganggu proses litografi.
Proses pengolahan fotoresist—baik proses pemanasan ringan maupun intensif—sangat bergantung pada kondisi termal. Dengan adanya regulator SCR yang menjaga stabilitas energi lampu, maka kualitas produk akan tetap baik setiap kali proses produksi dilakukan. Hal ini berarti lebih sedikit produk yang harus dibuat ulang, tingkat keberhasilan produksi meningkat, dan profil termalnya dapat diandalkan di setiap wafer dan batch produksi.
Anda juga akan menghemat energi, karena lampu tidak perlu bekerja keras untuk mengimbangi fluktuasi suhu. Umur lampu pun akan lebih panjang karena kondisi operasinya yang stabil.
Berikut adalah detail praktis yang perlu Anda ketahui. Driver lampu harus disesuaikan dengan kurva resistansi lampu saat mulai beroperasi; jika tidak, arus masuk lampu akan meningkat drastis, sehingga bisa memicu mekanisme perlindungan. Pemasangan alat ini membutuhkan kabel kontrol yang berkualitas tinggi dan bebas gangguan, serta antarmuka termal yang bersih dan rata agar tingkat keseragaman suhu tetap terjaga.
Anda perlu melakukan penyetelan PID selama waktu singkat agar alat ini dapat berfungsi dengan optimal untuk jenis lampu dan permukaan wafer tertentu.