Su una linea da 300 mm, si sa come vanno le cose: anche un’oscillazione di 1°C durante il processo di essiccazione del fotoresist può far sì che le dimensioni critiche del prodotto non rispettino i parametri richiesti. Abbiamo quindi creato un sistema a lampade a fibra di carbonio per evitare questo problema. Queste lampade sostituiscono le solite fonti a halogeno e quarzo, offrendo un riscaldamento rapido ed uniforme, senza punti caldi.
La uniformità termica su tutta la superficie di essiccazione è di ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità dei risultati rimane entro questi limiti, anche dopo migliaia di cicli. La risposta della lampada è inferiore a un secondo, il che permette un controllo preciso sia sui processi di essiccazione leggera che su quelli più intensivi. La lampada funziona in ambienti di tipo Class 1–100, senza alcun problema legato alla presenza di particelle, e soddisfa i requisiti riguardanti il basso livello di emissione di gas tipici delle tecnologie di litografia avanzate. Il consumo energetico è ridotto del 30% rispetto alle lampade a halogeno; inoltre, l’emettitore dura più di 5.000 ore con una diminuzione dell’efficienza inferiore al 5%.
Cosa significa questo in pratica? Un controllo più preciso delle dimensioni dei componenti, meno necessità di rifacimento dei prodotti, e un rendimento costante man mano che le dimensioni dei componenti continuano a ridursi. È possibile utilizzare fotorestimoli più sottili senza preoccupazioni, mantenere una uniformità nel comportamento termico su tutta la superficie del wafer, e evitare variazioni termiche tra i diversi strumenti utilizzati. La lampada si integra facilmente nei processi esistenti, grazie a interfacce e procedure di calibrazione standard, così da non dover riprocessare tutto dall’inizio.
L’installazione richiede semplicemente un controllo adeguato del carico termico e della geometria di posizionamento della lampada. L’elemento in fibra di carbonio non sopporta sollecitazioni meccaniche, quindi è necessario evitare montaggi che possano causare tensioni e lasciare spazio sufficiente affinché l’elemento possa espandersi liberamente. È consigliabile effettuare un breve periodo di collaudo per verificare l’emissività in tutta la zona interessata e regolare il profilo PID in base alle caratteristiche specifiche del fotorestimolo utilizzato. Una volta ottenuta la giusta configurazione, la lampada garantisce la stabilità richiesta, giorno dopo giorno.