クラス100の清浄室を運用している場合、ガス発生という問題は避けられないものです。ヒーター要素から少しの汚れが飛び出すだけで、生産ライン全体が壊れてしまいます。 半導体製造工場では、一般的な赤外線ランプは適していません。高い温度によって劣化しやすく、微細な粒子を放出してしまいます。それらの粒子は本...

製造現場において、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それはウェーハの線幅の変動や接着力の低下、歩留まりの悪化といった形で現れます。したがって、温度を安定させ、迅速に設定値に到達し、日々清潔な状態を維持できる熱源が必要です。 技術的に重要な点 クォーツハロゲン電球は、高速かつ安定した赤外...