なぜ、従来の対流式オーブンを捨ててUHP赤外線硬化装置を使うのか？ 長年にわたり、半導体工場では大きな対流式オーブンが使われてきました。しかし正直なところ、それらはもう時代遅れです。今では、超高純度のUHP赤外線ランプが急速に普及しています。これは単に「グリーンエネルギー」の目標を達成したり、鉛フ...

なぜバスルーム用ヒーターには「防爆性のある」クォーツが使われるのか もし、バスルーム用の赤外線ヒーターを設計したことがあるなら、最も厄介な問題が熱衝撃だということをご存知でしょう。 想像してみてください：ランプが高温になり、極端な温度差が生じます。その時、たった一滴の冷水がガラスに当たるだけです。...

もし、倉庫や工場で高さのある赤外線ヒーターを使用したことがあるなら、その大変さはご存知でしょう。そこは本当に過酷な環境です。ほこりや汚れ、湿気がヒーターの部品に付着しやすいのです。 そうした汚れがたまると、熱が集中してしまい、クォーツ管が本来の寿命よりも早く壊れてしまいます。私たちはこれを繰り返し...

300mmラインでは、フォトレジストベイク中の0.5℃のドリフトで歩留まりが大きく低下するのを目の当たりにします。ライン幅の制御が急速に乱れます。私たちはこのばらつきを抑え、かつファブが24時間365日稼働している間も安定動作するウェハードライヤーバルブを開発しました。 技術的に重要な点 バルブは...