化学処理ラインでの爆発を防ぐ方法 半導体の洗浄工程を行っている人なら、その危険性はよく知っているでしょう。扱うのは可燃性の溶剤や蒸気であり、これらは簡単に火を引き起こしてしまいます。通常のIRランプを使えば、大変な事態になってしまいます。 そのため、私たちは開放型の加熱方式を使わないようにしていま...

時間の無駄をやめよう：ウェーハの加熱において、なぜ赤外線加熱がホットエアより優れているのか 待つという時間のロスについて話しましょう。 半導体製造では、長年にわたってホットエアを利用してきました。しかし問題は、ホットエアの速度が遅いことです。空気という媒体が必要であり、まずチャンバー全体を加熱し、...

スマートホームを本当に快適な空間にするために：IR素子の真実 もし、赤外線ヒーターをスマートホームシステムに接続しようとしているなら、単にWi-Fiチップを取り付けるだけでは不十分だということがお分かりでしょう。絶えず電源を切ったり入れたりしても問題なく動作するハードウェアが必要です。そこで、私た...

製造現場において、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それはウェーハの線幅の変動や接着力の低下、歩留まりの悪化といった形で現れます。したがって、温度を安定させ、迅速に設定値に到達し、日々清潔な状態を維持できる熱源が必要です。 技術的に重要な点 クォーツハロゲン電球は、高速かつ安定した赤外...