ウェーハ加熱時の安全距離

時間の無駄をやめよう：ウェーハの加熱において、なぜ赤外線加熱がホットエアより優れているのか 待つという時間のロスについて話しましょう。 半導体製造では、長年にわたってホットエアを利用してきました。しかし問題は、ホットエアの速度が遅いことです。空気という媒体が必要であり、まずチャンバー全体を加熱し、...