왜 우리가 대류식 오븐 대신 UHP 적외선 건조기를 사용하는가? 오랫동안 반도체 공장들은 대류식 오븐에 의존해 왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 그런 오븐들은 이미 구식입니다. 현재는 초고순도(UHP) 적외선 램프를 사용하는 추세가 점점 늘어나고 있습니다. 이는 단순...

왜 욕실용 히터에는 ‘폭발 방지’ 기능이 있는 석영을 사용할까요? 만약 여러분이 욕실용 적외선 히터를 설계해본 적이 있다면, 가장 큰 문제가 바로 온도 변화에 따른 충격이라는 것을 알고 있을 것입니다. 상상해보세요: 히터의 램프는 매우 뜨거워져서 극심한 고온을 만들어...

만약 창고나 공장에서 고온의 적외선 히터를 사용해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 그곳은 엄청난 환경입니다. 먼지와 오물, 습기가 히팅 요소 위에 쌓이기 쉽죠. 이런 오물들이 쌓이면, 열이 집중되는 부분이 생깁니다. 결국 석영관들이 예상보다 훨씬 빨리...

300mm 라인에서 포토레지스트 베이크 중 0.5°C의 온도 편차는 수율 저하로 직결됩니다. 라인폭 제어가 빠르게 흔들리게 되죠. 우리는 이 변동성을 제거하고 설비가 24시간 7일 가동하더라도 지속 운전할 수 있는 웨이퍼 드라이어 벌브를 설계했습니다. 기술적으로 중요...