수소 센서 제조용 히터
수소 센서를 제작할 때는 매우 위험한 상황에 처하게 됩니다. 단 한 알의 먼지만 있어도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다. 그렇기 때문에 클래스 100 청정실에서는 일반적인 히터를 사용하는 것은 불가능합니다. 대부분의 히터들은 가열되자마자 입자를 방출하거나 기체가 새...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
장비의 벽면에 열이 낭비되는 것을 막아야 합니다.
실리콘 웨이퍼를 가열하는 데에는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 하지만 문제는, 대부분의 적외선 램프들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 이는 명백한 낭비입니다.
램프가 360도로 열을 방출하게 되면, 값비싼...
웨이퍼 공정용 온도 센서
난방 요소가 웨이퍼를 망치는 것을 막아야 합니다.
클래스 100 수준의 청정실을 운영한다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 조각이 웨이퍼 위에 떨어지기만 해도, 전체 제품이 폐기됩니다. 이는 매우 짜증나는 상황이며, 비용...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 청정실에서 작업할 때면, 히터에서 나오는 아주 작은 이물질만으로도 전체 웨이퍼가 버려지는 상황이 발생합니다. 정말 답답한 일이죠. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
대부분...
스마트 센서 패키징 적외선
더 이상 추측하지 마세요: 진정으로 스마트한 적외선 시스템을 만드는 방법
팹 공장을 계획할 때, 단순히 열을 높이는 것만으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 그냥 열만 있으면 안 되며, 그 열이 제품에 어떤 영향을 미치는지 정확히 알아야 합니다.
대부분의...