맞춤형 산업용 적외선 제조 시스템

공정 현장에서 포토레지스트 처리 시 온도 편차는 오래된 적처럼 다뤄야 한다는 것을 배운다. 웨이퍼 전면에 걸쳐 ±3°C의 변동을 가지는 90°C 소프트 베이크? 이러한 온도 분포는 핵심 치수 바이어스를 이동시키고 에지 비드를 남겨 나중에 재작업으로 이어진다. 이에 불...