웨이퍼 제조를 위한 폴리이미드 경화 공정
리소그래피 공정에서 폴리이미드의 경화 과정은 단순한 가열 단계가 아닙니다. 이는 장치의 신뢰성을 결정하는 핵심 요소입니다. 웨이퍼의 온도가 1°C만 변동해도 스트레스가 생기고, 회로에 균열이 발생하여 수주간의 작업 성과가 무너질 수 있습니다. 따라서 온도를 단순히 후...
폴리이미드 베이크용 적외선 램프
리토 플로어에서는 폴리이미드를 가열하는 과정에서 열 에너지가 선의 굵기를 조절하는 데 사용됩니다. 약간의 온도 변동이 발생하면 웨이퍼의 측벽이 비뚤어집니다. 과열된 부분은 웨이퍼 위에 있는 입자의 수로 나타납니다. 따라서 이 가열 과정은 반복 가능하고, 깨끗하며, 빠...