웨이퍼용 고정밀 IR 센서

장비의 벽면에 열이 낭비되는 것을 막아야 합니다. 실리콘 웨이퍼를 가열하는 데에는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 하지만 문제는, 대부분의 적외선 램프들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 이는 명백한 낭비입니다. 램프가 360도로 열을 방출하게 되면, 값비싼...