웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

시간 낭비를 멈추세요: 왜 웨이퍼 가열에는 적외선 방식이 핫에어 방식보다 우수한가요? 기다리는 시간이라는 문제에 대해 이야기해보겠습니다. 반도체 제조 공정에서는 수년 동안 핫에어 순환 방식을 사용해왔습니다. 하지만 문제는 핫에어의 속도가 너무 느리다는 것입니다. 핫에...