웨이퍼 공정용 온도 센서

난방 요소가 웨이퍼를 망치는 것을 막아야 합니다. 클래스 100 수준의 청정실을 운영한다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 조각이 웨이퍼 위에 떨어지기만 해도, 전체 제품이 폐기됩니다. 이는 매우 짜증나는 상황이며, 비용...