디지털 적외선 건조기 컨트롤러
디지털 IR을 활용해 무연 처리를 정확하게 수행하는 방법
반도체 산업은 무연이고 친환경적인 기준을 향해 발전하고 있습니다. 이는 좋은 방향이지만, 부품을 건조시키는 과정을 더욱 어렵게 만듭니다. 그래서 우리는 디지털 적외선(IR) 컨트롤러를 사용합니다. 대류식 공기나...
고효율 웨이퍼 건조기 전구
300mm 라인에서 포토레지스트 베이크 중 0.5°C의 온도 편차는 수율 저하로 직결됩니다. 라인폭 제어가 빠르게 흔들리게 되죠. 우리는 이 변동성을 제거하고 설비가 24시간 7일 가동하더라도 지속 운전할 수 있는 웨이퍼 드라이어 벌브를 설계했습니다.
기술적으로 중요...