오존이 없는 적외선 램프

리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 가열하는 과정의 반복성이 단순히 중요한 요소가 아니라, 필수적인 공정 조건입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생겨도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 단 한 개의 이물질만으로도 전체 제...