웨이퍼 표면 장력 측정용 히터

리소그래피 공정에서는 온도의 미세한 변화만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 베이킹 온도가 반도 정도만 변해도, 웨이퍼의 크리티컬 디바이전 제어가 제대로 이루어지지 않습니다. 그러면 결국 웨이퍼를 폐기해야 합니다. 우리는 바로 그러한 문제를 미리 방지하기 위...