고효율 웨이퍼 건조기 전구

300mm 라인에서 포토레지스트 베이크 중 0.5°C의 온도 편차는 수율 저하로 직결됩니다. 라인폭 제어가 빠르게 흔들리게 되죠. 우리는 이 변동성을 제거하고 설비가 24시간 7일 가동하더라도 지속 운전할 수 있는 웨이퍼 드라이어 벌브를 설계했습니다. 기술적으로 중요...