맞춤형 산업용 적외선 제조 시스템
공정 현장에서 포토레지스트 처리 시 온도 편차는 오래된 적처럼 다뤄야 한다는 것을 배운다. 웨이퍼 전면에 걸쳐 ±3°C의 변동을 가지는 90°C 소프트 베이크? 이러한 온도 분포는 핵심 치수 바이어스를 이동시키고 에지 비드를 남겨 나중에 재작업으로 이어진다. 이에 불...
산업용 웨이퍼 히터 공장
반도체 제조 현장에서 포토레지스트 베이크 온도가 0.3°C만 변해도 전체 로트가 불량 처리될 수 있는 라인 폭 편차로 이어진다. 대량 웨이퍼 생산에서는 열 제어가 선택 사항이 아니라 수율 확보와 불량 발생을 가르는 경계선이다.
핵심 사항 우리는 반도체 공정 창에 맞는...