건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 청정실에서 작업할 때면, 히터에서 나오는 아주 작은 이물질만으로도 전체 웨이퍼가 버려지는 상황이 발생합니다. 정말 답답한 일이죠. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 대부분...

반도체 공장의 안전을 지키는 방법: 휘발성 기체가 많은 환경에서의 적외선 램프 사용 반도체 공장에서의 건조 과정, 특히 화학적 세척 단계에서 일하는 사람이라면 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 그곳에서는 쉽게 폭발할 수 있는 기체들이 존재합니다. 이러한 환경에서는...

도매용 웨이퍼 건조 램프: 그 강력한 성능의 비밀은 무엇인가? 반도체 웨이퍼를 빠르게 건조시키는 방법에 대해 알아보겠습니다. 이를 위해서는 고품질의 산업용 가열 장비가 필요합니다. 물론, 유명 브랜드 제품과 동등한 성능을 가져야 하지만, 너무 비싼 가격은 피해야 합니...

Fab 라인에서 소프트 베이크 과정 중 한 번의 문제로 전체 리소그래피 교대 작업이 무산될 수 있다. 건조 램프 성능이 저하되면 포토레지스트 프로파일이 변동하고 수율이 감소한다. 이러한 위험을 줄이기 위해 이 웨이퍼 건조 램프 전구를 설계했으며, 예산을 초과하지 않고...