Fab 라인에서 소프트 베이크 과정 중 한 번의 문제로 전체 리소그래피 교대 작업이 무산될 수 있다. 건조 램프 성능이 저하되면 포토레지스트 프로파일이 변동하고 수율이 감소한다. 이러한 위험을 줄이기 위해 이 웨이퍼 건조 램프 전구를 설계했으며, 예산을 초과하지 않고도 열 제어를 규격 내로 유지한다.
핵심 사항
이 전구는 쿼츠-할로겐 타입으로 단파장 방출에 최적화되어 빠르고 제어된 가열이 가능하다. 웨이퍼 전반의 온도 균일도는 ±0.1°C 이내로 유지되어 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 중요한 포토레지스트 치수를 보호한다. 입자 배출은 없으며, 클린룸 등급 1–100에 적합하다. 필라멘트와 외피 형상은 5,000시간 이상의 안정적인 출력 유지와 함께 강도 변동을 5% 미만으로 제한하는 반복성을 갖도록 설계되었다.
실제 공정에서 견고한 이유는 다음과 같다.
포토리소그래피 및 포토레지스트 공정은 일관된 열 예산을 요구하며 예외가 없다. 이 전구는 베이크 프로파일을 안정적으로 유지하여 라인 폭 변동을 감소시키고 재작업 시간을 줄인다. 램프의 상승 속도가 빨라 사이클 시간이 단축되며, 긴 수명으로 교체 빈도를 낮출 수 있다. 에너지 사용은 목표 온도 범위 내로 제한되어 정밀도를 유지하면서 운영 비용을 절감한다.
몇 가지 실용적인 주의사항.
설치는 소켓 유형과 정격 전압을 장비에 맞게 맞추는 것이 중요하다; 잘못된 커넥터는 정렬과 열 전달에 영향을 줄 수 있다. 전구는 클래스 1–100 클린룸 등급이며, 기계적 충격에 민감하므로 ESD 안전 절차를 준수하여 취급해야 한다. 설정점 안정화 전 짧은 예열 시간이 필요하며, 램프 방출 스펙트럼과 공정 레시피를 반드시 확인하여 포토레지스트 호환성을 유지해야 한다.