빠른 반응 적외선 히터 전구

리소그래피 라인에서는 웨이퍼가 온도에 도달하는 순간부터 시간이 시작된다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 “가열 단계”가 아니다. 이들은 치수 제어 단계이다. 2°C의 편차는 CD를 이동시키고, 몇 초간의 오버슈트는 양질의 실리콘을 손상시킨다. 열 시스템이 레시...