Op de productielijn kan zelfs een kleine afwijking van een halve graad al leiden tot foutieve dimensioneringen en daarmee tot verspilling van hele partijen producten. We hebben onze SCR-stroomregelaar ontworpen om deze afwijkingen vanaf het begin tegen te gaan, zodat de uitgangsspanning van de lamp overeenkomt met de gewenste waarden – en niet met de spanning in het netwerk.
Wat technisch gezien belangrijk is: Het gaat om een gesloten regelsysteem met SCR-regelaar, gecombineerd met een lampbestuurder die is afgestemd op halogeen-, kwarts-, kortegolfradiobuizen, middenfrequentie-radiobuizen en infraroodbronnen op basis van koolstofvezel. Hierdoor wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C bereikt over de hele plaat. De herhaalbaarheid tussen verschillende producties blijft binnen ±0,2°C. De uitgangsspanning blijft binnen 0,1% van de ingestelde waarde, met een responstijd van minder dan 10 ms op veranderingen in de instellingen. Het apparaat is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100: er wordt geen stof gegenereerd door de warmteontwikkeling, en het ontwerp is zo ingericht dat er geen storingen optreden bij de litografieprocedure.
Bij het bewerken van fotoresisten is de thermische behandeling cruciaal. Met de SCR-regelaar blijft de energie van de lamp constant, waardoor het gewenste resultaat steeds wordt behaald. Dit leidt tot minder herwerkingen, een hogere productiefrequentie en consistentie in de thermische eigenschappen van de producten.
U bespaart ook energie, omdat de lamp niet te veel wordt belast om aan fluctuaties te voldoen. Bovendien wordt de levensduur van de lamp verlengd door stabiele bedrijfsomstandigheden.
Hier zijn de praktische details die u nodig heeft. De lampbestuurder moet worden afgestemd op de weerstandskurve van de lamp bij koude start; anders kan er een hoge inlaadsysteemstroom optreden, waardoor de bescherming van de lamp wordt geactiveerd. Voor de installatie is een aparte, lawaaiminimale besturingssleuf nodig, die ver weg ligt van de hoogstromingslijnen. De thermische verbinding moet schoon en vlak zijn om de vereiste uniformiteit te bereiken.
Reken op een korte inrichtingsperiode om de PID-instellingen af te stemmen op de specifieke lamp en plaat.