บนชั้นผลิต ช่วงการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.3°C ในการอบฟิล์มโฟโต้เรสซิสต์สามารถส่งผลให้เกิดความผิดพลาดของความกว้างของเส้นที่ทำให้ต้องทิ้งล็อตทั้งหมด...

บนสายการผลิต 300mm คุณจะเห็นผลผลิตลดลงอย่างชัดเจนเมื่อเกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.5°C ระหว่างการอบ photoresist...