Fabrika katında, fotoresist işlemlerinde sıcaklık kaymasını eski bir düşman gibi yönetmeyi öğrenirsiniz. Wafer genelinde ±3°C toleransla...

Fabrika katında, fotoresist pişirme sırasında 0.3°C’lik bir sapma, bir lotun tamamının hurdaya ayrılmasına yol açabilecek çizgi genişliği sapmasına...