Ra sàn sản xuất, bạn học cách coi sự dịch chuyển nhiệt độ trong quy trình xử lý photoresist như một kẻ thù khó chịu. Một lần làm mềm (soft bake) ở...

Trên sàn sản xuất, lệch nhiệt 0,3°C trong quá trình nung photoresist có thể dẫn đến sai lệch chiều rộng đường kẻ, làm hư hại toàn bộ lô sản xuất....