无臭氧红外灯

在光刻工艺中，光阻烘烤过程的重复性并非可有可无的参数，而是至关重要的核心要素。在软烘或硬烘过程中，如果温度出现2°C的波动，就可能导致关键尺寸控制失准；而哪怕只有一个微粒进入晶圆表面，都可能毁掉整批产品。因此，我们设计了无臭氧的红外灯，从而避免了这些变量带来的影响。 从技术层面来看，重要的是什么？...