别再让热量四处散失了 红外线灯的问题在于：它会把热量向各个方向散发。在半导体固化炉中，所有没有照射到晶圆上的能量都是浪费的。 但这不仅仅是能源的浪费而已。那些多余的熱量还会对设备的内壁造成损害。如果机器外壳变热到足以烫伤人的程度，那就不只是加热问题了，而是方向控制的问题。 让热量集中在正确的位置...

在光刻工艺中，聚酰亚胺的固化过程并非简单的加热步骤而已。实际上，温度控制决定了设备的可靠性。即使晶圆上的温度仅有1°C的变化，也足以导致应力失衡、连接线路出现裂纹，从而让一周的努力付诸东流。因此，需要一个能够将温度视为工艺关键参数来处理的系统，而不是事后才考虑的问题。 关键在于精确的温度控制 我们...