用于半导体加热器的热电偶

在半导体制造过程中，如何准确控制温度是一个重要问题。如今，大家都在努力实现碳中和目标，因此，红外加热技术越来越受到重视。因为这种加热方式更为精准——它不会像传统对流式烤箱那样让整个房间都变热，而是将热量直接传递到需要加热的位置。 不过，这也存在一个缺点：红外灯会迅速变热。如果沒有精确的温度传感器来...