缩短处理时间：为何在真空环境中红外加热器更优 如果您从事半导体深度加工工作，那么“时间成本”无疑是最大的难题。大多数人最初会选择热风循环加热方式。虽然这种方法有效，但效率较低。实际上，您只是让空气变热，然后再希望这些热空气能够加热晶圆。但问题在于：一旦进入真空环境，就不存在空气了，也就没有那种“中...

别让灰尘破坏你的真空加热系统 如果你在100级洁净室或高真空环境中对某个物体进行加热，那你肯定知道这有多麻烦。你需要的不仅仅是热量，还要确保热量是“纯净的”。 在这类环境中，大多数普通加热元件都会带来问题。它们会释放出各种气体或微粒，这些物质会附着在晶圆或光学涂层上。这实在令人头疼——只要有一颗灰...