定制工业红外制造系统

在生产车间，您需要将光刻胶处理中的温度漂移视为一个老敌人。对晶圆进行±3°C的90°C软烘焙？这种温度范围会导致关键尺寸偏差，并留下边缘珠，这将在后续返工中反复困扰您。因此，我们构建了一个定制的工业红外生产系统，以消除这种不确定性——在工艺需要的地方提供可重复的热量，而不移动空气，也不增加颗粒。...