数字式红外干燥机控制器
利用数字红外技术实现无铅材料的正确固化 在半导体领域,人们一直在努力追求无铅、环保的制造标准。这确实是个不错的方向,但同时也使得材料的固化过程变得更加复杂。因此,我们选择了数字红外控制器。与使用对流风或强效化学溶剂相比,红外技术可以直接将能量传递到材料表面,这种方式更高效且不会对材料造成损伤。
无...
高效晶圆干燥灯泡
在300mm生产线上,光刻胶烘烤过程中仅0.5°C的温度漂移就能导致良率下降。线宽控制迅速偏离目标。我们设计的晶圆干燥灯泡正是为消除这种波动而生——并能在工厂7×24小时运转时保持稳定工作。
技术关键点
灯泡在晶圆平面上保持严格的热均匀性——±0.1°C,确保软烘和硬烘曲线一批批保持一致。快速的热...