可与真空环境兼容的红外加热器

缩短处理时间：为何在真空环境中红外加热器更优 如果您从事半导体深度加工工作，那么“时间成本”无疑是最大的难题。大多数人最初会选择热风循环加热方式。虽然这种方法有效，但效率较低。实际上，您只是让空气变热，然后再希望这些热空气能够加热晶圆。但问题在于：一旦进入真空环境，就不存在空气了，也就没有那种“中...