高效晶圆干燥灯泡

在300mm生产线上，光刻胶烘烤过程中仅0.5°C的温度漂移就能导致良率下降。线宽控制迅速偏离目标。我们设计的晶圆干燥灯泡正是为消除这种波动而生——并能在工厂7×24小时运转时保持稳定工作。 技术关键点 灯泡在晶圆平面上保持严格的热均匀性——±0.1°C，确保软烘和硬烘曲线一批批保持一致。快速的热...