UHP 超高纯度 加热灯
为何我们放弃传统对流式烤箱,转而使用超高纯度红外固化技术?
长期以来,半导体制造厂一直依赖那些大型对流式烤箱。但说实话,这种技术已经有些过时了。现在,人们越来越倾向于使用超高纯度红外灯。这并非仅仅是为了实现“绿色能源”目标或满足无铅化要求,而是一种合乎逻辑的选择。
想想看,传统对流式烤箱需要加热整...
高天花板工厂用散热器
为何在浴室加热器中要使用“防爆”石英玻璃
如果你曾经设计过用于浴室的红外加热器,那么你一定知道最可怕的问题就是热冲击。想象一下:加热元件产生的温度极高,而一旦有冷水滴到玻璃上,情况就会变得糟糕。使用普通石英玻璃的话,玻璃就难以承受这种剧烈的温度变化,从而破裂。
因此,我们才会选择使用防爆石英玻璃来...
高顶红外加热器
如果您曾经在仓库或工厂里使用过高功率的红外加热器,那您就明白其中的不便之处了。那种环境极其恶劣——灰尘、污垢和湿气很容易堆积在加热元件上。一旦这些污物积累起来,就会出现局部过热的情况。很快,石英管就会因过热而损坏。我们厌倦了看到这种情况,因此设计了新型加热器,让它们能够在恶劣环境中正常工作。
应对...
高效晶圆干燥灯泡
在300mm生产线上,光刻胶烘烤过程中仅0.5°C的温度漂移就能导致良率下降。线宽控制迅速偏离目标。我们设计的晶圆干燥灯泡正是为消除这种波动而生——并能在工厂7×24小时运转时保持稳定工作。
技术关键点
灯泡在晶圆平面上保持严格的热均匀性——±0.1°C,确保软烘和硬烘曲线一批批保持一致。快速的热...