在光刻工艺中，聚酰亚胺的固化过程并非简单的加热步骤而已。实际上，温度控制决定了设备的可靠性。即使晶圆上的温度仅有1°C的变化，也足以导致应力失衡、连接线路出现裂纹，从而让一周的努力付诸东流。因此，需要一个能够将温度视为工艺关键参数来处理的系统，而不是事后才考虑的问题。 关键在于精确的温度控制 我们...

在晶圆加工过程中，聚酰亚胺的烘烤步骤是决定线宽控制效果的关键环节。如果温度出现几度的偏差，就会导致晶圆边缘出现不均匀现象；而局部过热则会在晶圆上形成杂质点。因此，烘烤过程必须具备可重复性、稳定性以及高效率——这一点对每一批产品来说都是至关重要的。 关键在于技术原理 我们设计的这种聚酰亚胺烘烤装置采...