碳纤维红外灯制造厂

在300毫米光刻线上，情况其实很明确：如果光阻在烘烤过程中温度偏差达到1°C，那么产品的关键尺寸就会超出规格要求。为了解决这个问题，我们开发了碳纤维红外灯系统。该系统用碳纤维作为发光源，替代了传统的卤素或石英光源，从而能够实现快速且均匀的加热效果，同时避免出现热点现象。 其热均匀性表现极为出色：在...