廉价晶圆烘干灯泡

在晶圆厂车间，一次软烘烤故障可能导致整个光刻班次报废。如果干燥灯性能下降，光刻胶轮廓会发生偏移，良率受到影响。我们设计了这款晶圆干燥灯泡，以降低该风险——确保热控参数保持在规范范围内，且不增加预算负担。 核心技术参数 这是一款石英卤素灯泡，调谐为短波段发射，实现快速且受控的加热。晶圆表面温度均匀性...