工业晶圆加热器工厂

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤温度漂移0.3°C 可能导致线宽偏差，进而报废整批晶圆。在高产量晶圆制造中，热控制不是可有可无的，而是决定良率和报废的关键因素。 核心要点 我们针对生产实际开发晶圆加热器，确保在半导体加工窗口内实现可重复的温度性能。全工件台面范围内，目标达到±0.1°C的晶圆级均匀性，且设...