晶圆加热的安全距离
别再浪费时间了:为何红外线加热比热风加热更高效 让我们来谈谈等待带来的困扰吧。在半导体加工过程中,我们多年来一直依赖热风循环来加温。但问题在于,热风加热效率很低——它需要介质来传递热量。首先得加热整个处理腔体,然后再加热腔体内的空气,最后才是加热晶圆。这一系列步骤实在繁琐。
而红外线加热则无需经过...
露台加热器与天花板之间的间距
制造经久耐用的红外线加热器 如果你曾将加热器放置在露台或半户外环境中,就会知道其中的好处与麻烦。你必须面对潮湿的空气、晨露,以及突如其来的阵雨。大多数加热器都无法承受这些条件——灯管会很快烧坏,结果就是你只能面对冰冷的露台和无法使用的加热器。
我们想要解决这个问题。
对抗潮湿的挑战 真正的问题在于...