别再让热量四处散失了 红外线灯的问题在于：它会把热量向各个方向散发。在半导体固化炉中，所有没有照射到晶圆上的能量都是浪费的。 但这不仅仅是能源的浪费而已。那些多余的熱量还会对设备的内壁造成损害。如果机器外壳变热到足以烫伤人的程度，那就不只是加热问题了，而是方向控制的问题。 让热量集中在正确的位置...

为何金反射型红外线技术是提升半导体固化效率的关键？ 传统的干燥方式——比如使用溶剂进行干燥，或是依靠大型对流烤箱来加热——已经不再适用了。大家都在追求“绿色”且无铅的加工方式，但真正的挑战在于如何在实现这一目标的同时，不耽误整个生产流程的进度。 这时，红外线固化技术就派上用场了。不过，这里有个问题...

在光刻车间，流程你已经熟悉。光刻胶烘烤过程中温度波动1°C就足以报废整批产品。热控必须表现得像一个设定点，而非变数。这就是为什么我们设计了用于半导体级加热的铝制红外反射器，良率依赖于重复性的稳定性。 技术关键点 我们通过调节反射器的几何形状和表面处理，实现晶圆上的温度均匀性达到±0.1°C，从而确...