晶圆处理设备用温度传感器

停止让加热元件破坏你的晶圆吧！ 如果你在操作100级洁净室，那你肯定知道那有多糟糕。哪怕只是一点极小的杂质——小到肉眼都看不见的颗粒——落到晶圆上，整个批次的晶圆就报废了。这既令人沮丧，又成本高昂。而这种问题的根源通常在于加热元件的排气或颗粒脱落现象。 为了解决这个问题，我们决定使用高纯度的合成石...