红外灯用铝反光罩

在光刻车间，流程你已经熟悉。光刻胶烘烤过程中温度波动1°C就足以报废整批产品。热控必须表现得像一个设定点，而非变数。这就是为什么我们设计了用于半导体级加热的铝制红外反射器，良率依赖于重复性的稳定性。 技术关键点 我们通过调节反射器的几何形状和表面处理，实现晶圆上的温度均匀性达到±0.1°C，从而确...