ফ্যাব ফ্লোরে, মাত্র অর্ধ ডিগ্রির মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনও গুরুত্বপূর্ণ মাপদণ্ডগুলোকে বিঘ্নিত করে দিতে পারে; ফলে সমস্ত উৎপাদন নষ্ট হয়ে যেতে পারে। আমরা ল্যাম্পের জন্য SCR পাওয়ার রেগুলেটর তৈরি করেছি; এর ফলে তাপমাত্রার এই পরিবর্তনগুলো ঠেকানো যায়। ফলে ল্যাম্পের আউটপুট নির্ধারিত মান অনুযায়ী থাকে—লাইন ভোল্টেজের উপর নির্ভর না করে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এটা একটি ক্লোজড-লুপ SCR কন্ট্রোলার; এটা হ্যালোজেন, কোয়ার্টজ, শর্ট-ওয়েভ, মিডিয়াম-ওয়েভ এবং কার্বন-ফাইবার NIR সোর্সগুলোর জন্য উপযুক্ত। বেক প্লেটের উপর ±0.1°C তাপীয় সমানতা বজায় থাকে; আর শিফট-টু-শিফট রিপিটেবিলিটি ±0.2°C এর মধ্যে থাকে। আউটপুটটি নির্ধারিত মানের 0.1% এর মধ্যেই থাকে; আর সেটপয়েন্ট পরিবর্তনের জন্য প্রতিক্রিয়াটি 10 মিলিসেকেন্ডের কম সময়েই হয়। এই ইউনিটটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য তৈরি করা হয়েছে—থার্মাল স্ট্যাক থেকে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না; আর EMI-সচেতন ডিজাইনের কারণে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় কোনো ব্যাঘাত ঘটে না।
ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায়—সফট বেক, হার্ড বেক এবং পোস্ট-এক্সপোজার বেক—তাপীয় নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। SCR রেগুলেটরের কারণে ল্যাম্পের শক্তি স্থিতিশীল থাকে; ফলে প্রতিবারই নির্ধারিত মান অনুযায়ী ফলাফল পাওয়া যায়। এর ফলে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়; প্রথমবারেই ভালো ফলাফল পাওয়া যায়; আর সব ওয়েফারগুলোর জন্য একই ধরনের তাপীয় প্রোফাইল পাওয়া যায়।
আরও সুবিধা হলো, ল্যাম্পটি অতিরিক্ত চাপে চালানো হয় না; ফলে ল্যাম্পটির জীবনকাল বৃদ্ধি পায়।
এখানে আপনার জন্য কিছু প্রয়োজনীয় বিবরণ রয়েছে। ড্রাইভারটি ঠান্ডা অবস্থায় ল্যাম্পের রেজিস্ট্যান্স কার্ভ অনুযায়ী সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত; অন্যথায় ল্যাম্পটিতে অতিরিক্ত কারেন্ট প্রবাহিত হতে পারে এবং প্রোটেকশন সিস্টেম কাজ করতে পারে না। ইনস্টলেশনের জন্য একটি ডেডিকেটেড, কম-নয়েজ কন্ট্রোল লাইন দরকার; আর থার্মাল ইন্টারফেসটি পরিষ্কার ও সমতল হওয়া উচিত, যাতে তাপীয় সমানতা বজায় থাকে।
আপনার নির্দিষ্ট ল্যাম্প ও প্লেটের জন্য PID সেট করার জন্য সামান্য সময় লাগবে।