Přestaňte dovolovat, aby vaše topné prvky poškodily vaše wafery
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru. Jediný drobný kousek materiálu – něco, co ani nevidíte – se dostane na wafer a najednou je celá zásilka zbytkem odpadu. Je to frustrující, drahé a obvykle je to způsobeno uvolňováním plynů nebo odpadlými částicemi z topných prvků.
Rozhodli jsme se to vyřešit použitím vysoce čistého syntetického kvarcu pro naše IR lampy.
Proč je kvarc opravdu důležitý
Standardní sklo nebo levný kvarc prostě nevydrží teploty v prostředí s polovodiči. Když se teplota zvyšuje, tyto nečistoty se rozkládají. Uvidíte, jak lampa „kouří“ nebo začne uvolňovat částice právě v okamžiku, kdy začnete zvyšovat teplotu.
Náš spojený křemík je jiný. Udržujeme metalické nečistoty na extrémně nízké úrovni, takže lampa zůstává čistá. Navíc je chemicky inertní – nezáleží na tom, jaké procesní plyny pumpujete do zařízení; prostě nereaguje.
Poskytnutí tepla přesně tam, kde je potřeba
Potřebujete, aby wafery byly horké, a to rychle. Ale nechcete zároveň zahřívat vzduch kolem nich.
Naše lampy využívají krátkovlnné záření. To působí přímo na povrch waferu. To je velmi důležité, protože snižuje konvekční proudy, které způsobují vznik prachu na podlaze a posílají částice směrem k produktu.
Můžete si je nastavit podle své požadované výkonové hodnoty a napětí. Pokud si vyberete vysoký výkon, ušetříte spoustu prostoru v komoře. Jen pozor: vysoký výkon přes krátkou trubici vytváří velké množství tepla. Ujistěte se, že vaše chladicí systémy jsou schopny to zvládnout, jinak vaše konektory budou poškozeny.
Snadná výměna, méně stresu
Nikomu se nelíbí trávit hodiny na údržbě. Nabízíme několik různých možností uzavírání konců lamp, abyste zajistili dokonalé utěsnění – to je jediný způsob, jak zabránit únikům vakua v komoře.
Když lampa konečně selže, stačí ji vyndat a nasadit novou. Nemusíte přepínat celou síť ani strávit celý den čištěním oblasti. Je to rychlé, čisté a umožňuje vám pokračovat v práci bez obvyklých problémů spojených s vniknutím nových kontaminantů během výměny.