Hören Sie auf, sich die Hände zu verbrennen – eine bessere Methode zur Erwärmung von Halbleitergeräten
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, kennen Sie das Problem. Die Geräte müssen von innen her erhitzt werden – doch die Außenwände müssen weiterhin kalt bleiben.
Das Problem ist, dass die meisten herkömmlichen Widerstandsheizungen etwas zu viel Wärme abgeben. Die Energie wird in alle Richtungen abgegeben, wodurch der Innenraum des Gerätes zu einer Art „Riesen-Kühlkörper“ wird. Schnell entstehen heiße Stellen, die einen Mitarbeiter verletzen oder Sensoren beschädigen können. Das ist ein echtes Sicherheitsrisiko.
So lösen wir das Problem.
Anstatt alles gleichmäßig zu erhitzen, verwenden wir gezielte Infrarotheizungen. Stellen Sie es sich wie den Wechsel von einer Glühbirne, die den ganzen Raum beleuchtet, zu einer Taschenlampe vor, deren Lichtstrahl gezielt gerichtet ist.
Wir nutzen Kurzwellenemitter, die die Wärme direkt auf das Wafer oder Substrat abgeben. Dadurch bleibt die Wärme genau dort, wo sie hingehört. Die Wände des Gehäuses bleiben kühl, da sie nicht von überschüssiger Wärme betroffen sind.
Aber es handelt sich dabei nicht um eine einfache Lösung – man muss bei der Einrichtung vorsichtig sein. Der Fokuspunkt der Lampe muss perfekt auf die zu behandelnde Stelle ausgerichtet sein. Wenn er nur ein wenig vom Ziel abweicht, entstehen heiße und kalte Stellen auf dem Wafer – was man auf keinen Fall wollen sollte.
Wir verwenden in der Regel Lampen mit Quarzgehäuse. Diese können die Wärme ohne Freisetzung von Schadstoffen abbauen – dadurch bleibt der Reinraum sauber. Achten Sie jedoch darauf: Diese Hochleistungslampen produzieren viel Wärme. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung diesen Anstieg bewältigen kann – sonst müssen Sie den ganzen Nachmittag damit verbringen, die Sicherungen neu einzustellen.
Die Vorteile sind enorm.
Erstens können Ihre Mitarbeiter die Maschinen berühren, ohne sich Sorgen um Verbrennungen machen zu müssen. Das ist ein großer Vorteil für die Moral und die Sicherheit. Zudem muss das Lüftungssystem weniger arbeiten, da keine große Menge an Abwärme in den Raum abgegeben wird. Sie erhalten somit eine schnellere Aufheizung, eine kühmere Arbeitsumgebung sowie eine effizientere Lösung. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch, der durchaus sinnvoll ist.