Die Kontrolle der Temperatur in der Fertigung mit Infrarotstrahlung
Seien wir ehrlich: Die alten Heizmethoden reichen heutzutage einfach nicht aus. Wenn man eine moderne Halbleiter- oder Elektronikfertigungsstätte betreibt, kann man sich nicht auf Vermutungen verlassen. Man benötigt Daten.
Deshalb setzen wir auf Infrarotsysteme. Anstatt die ganze Luft im Reinraum zu erhitzen – was für die Lüftungsanlage ein Albtraum ist und dazu führt, dass Staub und Partikel aufgewirbelt werden – strahlt das Infrarot direkt auf die zu wärmenden Objekte ab. Es handelt sich dabei um direkte Strahlungswärme – einfach und effektiv.
„Intelligente“ Heizsysteme
Wenn man auf digitale Prozesse setzt, muss auch die Heizung mithalten können. Unsere Infrarotsysteme sind so konzipiert, dass sie direkt mit den PLC-Steuergeräten kommunizieren können – über modulierte Stromversorgungen.
Was bedeutet das konkret für Sie? Sie können die Wärmestärke in Echtzeit anpassen, basierend auf den Daten der Sensoren. Sie können die Temperatur innerhalb von Sekunden erhöhen oder senken – nicht erst nach Minuten. Diese Geschwindigkeit spart enorme Mengen an Zeit.
Der Kompromiss – etwas, was viele vergessen
Es gibt jedoch einen Haken: Um die für die Waferverarbeitung benötigte Wärmemenge zu erzeugen, müssen hocheffiziente Emittenten verwendet werden. Diese liefern zwar viel Wärme, doch sie erzeugen auch viel konzentrierte Wärme.
Man muss sicherstellen, dass die Gehäuse sowie die Kühlvorrichtungen tatsächlich in der Lage sind, diese Temperaturänderungen zu bewältigen. Wenn die Kühlung unzureichend ist, steigen die Temperaturen an. Und sobald man außerhalb des gewünschten Temperaturbereichs gerät, entstehen viele Verschwendungen.
Warum das in Reinräumen funktioniert
Konvektionsheizer bewegen die Luft. In einem Reinraum ist das Bewegen der Luft ein Risiko, das man sich nicht leisten kann.
Infrarotstrahlung hingegen hält die Luft still. Wir verwenden Quarz- und Keramikemitter, weil diese keine Gase oder Partikel freisetzen. So bleibt alles sauber.
Außerdem können diese Systeme direkt in das SCADA-Netzwerk eingebunden werden. Dadurch wird die Heizanlage zu einem „datengetriebenen“ Element – kein „Black Box“, dessen Funktion man nur hoffen kann. Wenn eine Charge fehlschlägt, muss man nicht darüber rätseln, warum. Man kann einfach die Temperaturdaten anschauen, herausfinden, wo die Temperatur gesunken ist, und das Problem beheben. So einfach ist das.