Die perfekte Temperatur für die Wafer erzielen
Wenn man mit Infrarotlampen in einem Reinraumbereich arbeitet, muss man ein schwieriges Gleichgewicht finden. Man benötigt eine präzise Wärmestrahlung auf dem Wafer – doch gleichzeitig darf man keine Energie verschwenden oder die Umgebung beeinträchtigen.
Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold überzogen sind. Das ist die beste Lösung, um sicherzustellen, dass die elektrische Energie tatsächlich als Wärme auf dem Wafer ankommt – und nicht einfach den Raum erwärmt.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminium – doch das hat einen Haken: Aluminium absorbiert viel zu viel Infrarotenergie. Wir verwenden hochreines Gold, denn es ist hervorragend darin, die nahe-infraroten Photonen wieder zurück zum Wafer zu lenken. So bleibt die Wärme gezielte auf dem Wafer – anstatt in der Lampe selbst zu bleiben. Dadurch wird die gewünschte Temperatur schneller erreicht, und weniger Energie ist erforderlich, um diese Temperatur zu halten. Es funktioniert einfach besser.
Umgang mit der Wärmelast
Die Leistung in Watt ist nur die halbe Miete. Entscheidend ist vielmehr die Form des Reflektors. Wir verwenden parabolische oder elliptische Kurven, um die Energie in einen engen Strahl zu bündeln. Das ist ideal, damit die Lampe kompakt genug bleibt, um auf einer Arbeitsfläche platziert werden zu können. Doch es gibt einen Haken: Wenn so viel Energie in einen kleinen Raum gespeist wird, werden die Enden der Lampe extrem heiß.
Überprüfen Sie Ihre Verkabelung – wirklich! Stellen Sie sicher, dass Ihre Anschlüsse die benötigte Stromstärke bewältigen können. Andernfalls kann es zu Schäden an den Anschlüssen kommen.
Der Kompromiss
Gold ist zwar die beste Wahl – doch es erfordert etwas mehr Pflege. Diese Oberflächen sind empfindlich. Wenn durch Fehler im Reinraumbetrieb Öl oder Staub auf die Goldschicht gelangt, nimmt die Reflektionsfähigkeit ab. Man kann die Schicht nicht einfach mit einem aggressiven Reinigungsmittel entfernen – sonst wird die Beschichtung zerstört.
Wir bauen diese Lampen so, dass jede Menge thermische Energie aus jedem Watt herausgeholt wird. Dadurch entsteht weniger Druck auf die Stromversorgung – und die Arbeitsfläche bleibt nicht wie ein Ofen warm, sofern die Kühlventilatoren ordentlich funktionieren.